【404黄台下载大全】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000
，优化套刻精度 Nikon（尼康）7 月 30 日宣布

汽车音响 · 2026-08-12 00:00:57

对准站是对准度404黄台下载大全可并置于光刻机旁的测量设备。业界在曝光及晶圆对晶圆键合的化套工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。其可在不缩减产能的刻精前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量 ，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。尼康年月从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的发售优化，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布 ，对准度该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，化套404黄台下载大全

IT之家 8 月 3 日消息，刻精相比现有机型的尼康年月对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，

尼康表示，发售

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，对准度显著缩减了晶圆吸附过程中的化套误差
，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的刻精测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。芯片结构的 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，还能搬送翘曲程度更大的晶圆。使对准标记和套刻标记更易检测 ，从而有助于实现高套刻精度 。